进口气动 Y 型真空挡板阀是高 / 超高真空系统专用的气动驱动式 Y 型流道挡板阀，核心用于真空管路中接通 / 切断气流，适配从1×10⁻⁶ Pa（高真空）至 1.2×10⁵ Pa（常压） 的宽压力区间。采用Y 型角通结构 + 波纹管 / 氟橡胶双密封 + 气动执行器，具备低漏率、高流导、快启闭、易清洁、长寿命等优势，广泛应用于半导体、光伏、科研、医药、航空航天等高端真空制程场景，。
产品特点Product features
2，极致密封，漏率可控：
轴封：全焊接波纹管密封（漏率≤1.3×10⁻⁷ Pa·L/s），无润滑剂、无颗粒污染。
阀座：氟橡胶（FPM）O 型圈，耐高温（-30℃~180℃）、耐老化。
3，气动驱动，安全高效：
压缩空气驱动（0.4~0.7 MPa），单作用（弹簧复位常闭）/ 双作用可选。
启闭迅速（≤1 s），带磁性开关反馈，可远程监控阀位。
失气 / 断电自动关闭，保障真空系统安全。
4，材质精良，耐腐洁净：阀体 / 阀杆采用304/316L 不锈钢，内部电解抛光，无死角、易清洁，适配半导体 / 医药高纯环境。
模块化设计，免维护长寿命：标准化组件，**80 万次 +** 免维护启闭，可在线更换密封件，无需拆阀体。
工作原理working principle
以压缩干燥空气为动力，通过电磁换向阀控制气路方向：
1，开启过程：电磁阀得电→压缩空气进入执行器无杆腔→推动活塞上行→阀杆带动阀板提升→Y 型流道完全导通，气流无阻通过。
2，关闭过程：电磁阀失电→无杆腔排气→弹簧复位（单作用）或反向进气（双作用）→活塞下行→阀板压向阀座→密封圈压缩密封，阻断气流。
技术参数Technical Specifications
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公称通径 |
DN16～DN200（KF/CF 法兰） |
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压力范围 |
高真空：10⁵～1.3×10⁻⁴ Pa；超高真空：10⁵～1.3×10⁻⁶ Pa |
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泄漏率 |
橡胶密封≤1.3×10⁻⁶ Pa・L/s；波纹管≤1.3×10⁻⁹ Pa・L/s |
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介质温度 |
NBR：-25～80℃；FPM：-30～150℃ |
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气源压力 |
0.4～0.8 MPa（4～6.5 kg/cm²） |
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电源 |
AC220V/50Hz（标准）；AC110V/DC24V 可选 |
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阀体材质 |
304/316L 不锈钢、WCB 碳钢 |
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密封材质 |
FPM（Viton）、NBR、金属铜（UHV） |
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连接方式 |
KF 快卸、ISO 法兰、CF 超高真空法兰 |
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安装位置 |
DN＜300 任意；DN≥300 垂直安装 |
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备注 |
其它特殊密封材质或特殊温度亦可根据客户要求设计选型。 |
外形尺寸Overall Dimension
主要零部件材质Material of main parts
020-32399500
